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真空系统通常由机械泵,罗茨泵,真空管道,主真空阀,旁通阀,真空探头和炉壳构成。采用旋片式机械泵或滑阀式机械泵均可。旁通阀可采用开闭式电磁阀或可控制流量大小的调节阀。极限真空一般要求达到1Pa。泄漏率以停泵后12h真空度变化表示,单位为Pa/h。
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来自:jg加工